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產(chǎn)品詳細(xì)
可編程勻膠機(jī)HC220PE
名稱：可編程勻膠機(jī)
型號：HC220PE
品牌：Helicoater
產(chǎn)地：中國
參考價(jià)格：
應(yīng)用：8英寸及以下晶元旋涂制膜
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HC220PE高精度勻膠機(jī)，采用高級PLC 模塊，工業(yè)級伺服電機(jī)，全自動(dòng)程序控制，轉(zhuǎn)速精度高，穩(wěn)定性好。可用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、生物材料、納米材料等領(lǐng)域高精度薄膜涂層的制備。
HC220PE高精度勻膠機(jī)，采用高級PLC 模塊，工業(yè)級伺服電機(jī)，全自動(dòng)程序控制，轉(zhuǎn)速精度高，穩(wěn)定性好�？捎糜谖㈦娮�、半導(dǎo)體、新能源、生物材料、納米材料等領(lǐng)域高精度薄膜涂層的制備。
特點(diǎn)：
- 采用高級PLC模塊，工業(yè)級伺服電機(jī)；
- 8英寸彩色觸屏控制，人機(jī)界面；
- 經(jīng)CNC一體加工成型的HDPE內(nèi)腔，耐腐蝕，易清潔，帶排廢功能；
- 內(nèi)腔壁采用獨(dú)特的凹面設(shè)計(jì)，有效防濺；
- 可編程寫和存儲100組程序，每組100步；
- 帶真空度安全互鎖檢測功能；帶蓋子安全互鎖檢測功能；帶排廢接口；
- 具有電機(jī)進(jìn)膠保護(hù)功能；管路易疏通設(shè)計(jì)；
- 具有真空不足提示及保護(hù)功能，具有斷電后參數(shù)自動(dòng)保存功能。
- 正、反轉(zhuǎn)旋涂方向可自由切換；旋涂參數(shù)可設(shè)置循環(huán)執(zhí)行；速度-時(shí)間曲線實(shí)時(shí)顯示；
- 配置四個(gè)自動(dòng)點(diǎn)膠接口，可升級多路自動(dòng)點(diǎn)膠系統(tǒng)；
- 可設(shè)置用戶密碼保護(hù)功能；
- 配置可調(diào)基座，方便調(diào)節(jié)水平；
HDPE耐腐蝕旋涂內(nèi)腔
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技術(shù)參數(shù)：
- 適用晶元尺寸范圍：Ø5~220mm；
- 旋涂速度：0~10000rpm；
- 轉(zhuǎn)速分辨率：1rpm；
- 旋涂加速度：0-50000rpm/s（空載）；
- 最大旋涂時(shí)間：3000s；
- 旋涂時(shí)間精度：0.1s；
- 內(nèi)腔壁采用獨(dú)特的凹面防濺設(shè)計(jì)；
- 具備單步快速旋涂和多步編程旋涂，可編程100組程序，每組程序100步；
- 均勻性：<±3%(需去邊3mm區(qū)域測量)；
- 電源輸入：AC200-230V；
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可用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、生物材料、納米材料等領(lǐng)域高精度薄膜涂層的制備。
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產(chǎn)品詢價(jià)與定購