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產(chǎn)品詳細(xì)
嵌入式方形載物盤
名稱：嵌入式方形載物盤
型號：
品牌：Helicoater
產(chǎn)地：中國
參考價(jià)格：
應(yīng)用：用于方形和矩形基板
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用于方形和矩形基板的真空吸附載物盤。
方形和矩形通常用于各種應(yīng)用。由于空氣湍流的增加，這些方形和矩形基板為旋涂帶來了獨(dú)特而復(fù)雜的挑戰(zhàn)。前緣會導(dǎo)致明顯的湍流，從而導(dǎo)致薄膜樹脂的蒸發(fā)不均勻和均勻性差。方形或矩形基板上常見的缺陷通常被稱為“邊緣堆積”、“邊緣”或“角”干涉帶。
使用凹入式旋轉(zhuǎn)卡盤（一種模擬圓形基板的設(shè)計(jì)）可以通過顯著減少湍流從而提高涂層質(zhì)量來解決這些問題。嵌入式旋轉(zhuǎn)夾頭的其他優(yōu)點(diǎn)包括自動居中和提供真空夾持的能力。
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