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產(chǎn)品中心
產(chǎn)品詳細(xì)
Apogee 450勻膠顯影機(jī)
名稱：清洗顯影機(jī)
型號(hào)：Developer450
品牌：Helicoater
產(chǎn)地：美國(guó)
參考價(jià)格：
應(yīng)用：集成勻膠、清洗、顯影功能
產(chǎn)品資料及報(bào)價(jià)，請(qǐng)撥打24h熱線：13521278201（微信同號(hào)），您將得到及時(shí)回復(fù)。
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高功率伺服電機(jī)系統(tǒng)結(jié)合了極其精確的轉(zhuǎn)速控制和高扭矩驅(qū)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)了強(qiáng)勁的加速度。適用于300 mm以上的晶圓片和高達(dá)14“×14”的LCD正方形樣品。
Apogee 450勻膠顯影機(jī)以高效、節(jié)省空間的設(shè)計(jì)，提供具有革命性接口功能和最大化學(xué)兼容性能。高功率伺服電機(jī)系統(tǒng)結(jié)合了極其精確的轉(zhuǎn)速控制和高扭矩驅(qū)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)了強(qiáng)勁的加速度。適用于300 mm以上的晶圓片和高達(dá)14“×14”的LCD正方形樣品。
產(chǎn)品特點(diǎn)
l 緊湊的設(shè)計(jì)，最大限度地減少占地面積
l 全彩色7英寸觸摸屏顯示屏
l 驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)（間接）具有同類中最高的馬力
l 增強(qiáng)的蓋提升輔助功能（氣彈簧打開≥ 45°)
l 耐用的工作臺(tái)設(shè)計(jì)，也可采用法蘭/甲板安裝配置
l 數(shù)據(jù)流™ 技術(shù)
l 可選的X-PRO工作站集成了獨(dú)立機(jī)柜和上部排氣外殼，用于過程煙氣控制。
內(nèi)腔設(shè)計(jì)：
l 高密度聚乙烯（HDPE）旋轉(zhuǎn)碗
l 可選的封閉式和開放式蓋子設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了工藝靈活性
l 直接扇形噴射、側(cè)角水坑和氣流分配選項(xiàng)
l 集成排放口和排氣口
l 可選自動(dòng)氮?dú)獯祾邍娮?/span>
l 可選自動(dòng)排放分離器（溶劑/水）
技術(shù)參數(shù)：
l 觸摸屏界面和顯示器
l 支持全彩色字母數(shù)字的圖形用戶界面（GUI）
l 用戶定義的配方程序步驟數(shù)量幾乎不限
l 步進(jìn)時(shí)間的分辨率為0.1秒（最大步進(jìn)時(shí)間為9999.9秒）
l 旋轉(zhuǎn)速度：6000 rpm
l 旋轉(zhuǎn)速度加速：
n 0至30000 rpm/s空載
n 0至23000 rpm/s，使用300 mm基板
n 0至3000 rpm/s，帶350mm x 6mm圓槽旋轉(zhuǎn)卡盤
n 0至400 rpm/s，在嵌入式旋轉(zhuǎn)夾頭中使用14”×14”×1.1 mm光罩
l 雙向速度控制/擺動(dòng)卡盤
l 連接：USB/以太網(wǎng)端口，用于上傳/下載帶有數(shù)據(jù)流的過程參數(shù)™ 技術(shù)
l 同步、自動(dòng)化、多點(diǎn)分發(fā)功能
精確
l 轉(zhuǎn)速重復(fù)性：<0.2 rpm
l 轉(zhuǎn)速分辨率：<0.2 rpm
l 基底尺寸：圓形小于1厘米至450毫米；14英寸x 14英寸正方形
可靠性
l 間接驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)保護(hù)旋轉(zhuǎn)電機(jī)不接觸工藝化學(xué)品和溶劑
l 真空和蓋聯(lián)鎖
l 業(yè)界領(lǐng)先的可靠性和正常運(yùn)行時(shí)間
l 零件和人工的1年全面保修
l 在產(chǎn)品生命周期內(nèi)免費(fèi)提供遠(yuǎn)程技術(shù)支持（電話、電子郵件）
l 產(chǎn)品生命周期的應(yīng)用過程協(xié)助
了解更多產(chǎn)品資料，請(qǐng)聯(lián)系Helicoater工作人員,400 860 1856。
外部接口：
l 電壓范圍：208-240 VAC，單相，50/60 Hz
l 功率要求：1440瓦（6A）
l 排水口：外徑3/4英寸
l 排氣口：外徑1.5英寸，在0.2英寸水（0.6-1.4立方米/分鐘）下為20至50立方英尺/分
l 真空度：>20“Hg（<33 kPa abs）
l 氮?dú)饣?/span>CDA（用于自動(dòng)分配）：70 psi（482 kPa）
l 顯影劑噴灑和背面沖洗用去離子水（如果硬鉛垂）：<30 psi（206.8 kPa）
尺寸
l 27-5/8英寸（70.2厘米）寬×30-3/4英寸（78.2厘米）深×16英寸（40.6厘米）高*
l 機(jī)器重量：115磅（52.2千克）
l 裝運(yùn)重量：250磅（113.4千克）
*H是蓋上蓋子的。蓋子打開時(shí)，H為33英寸（83.8厘米）
**對(duì)于可選的煙囪罩，H為24-3/4”（62.9cm）關(guān)閉，36”（91.5cm）打開
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產(chǎn)品詢價(jià)與定購(gòu)