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產(chǎn)品中心
產(chǎn)品詳細(xì)
Apogee200勻膠顯影機(jī)
名稱(chēng)：清洗顯影機(jī)
型號(hào)：Developer200
品牌：Helicoater
產(chǎn)地：美國(guó)
參考價(jià)格：
應(yīng)用：集成勻膠、清洗、顯影功能
產(chǎn)品資料及報(bào)價(jià)，請(qǐng)撥打24h熱線：13521278201（微信同號(hào)），您將得到及時(shí)回復(fù)。
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累積關(guān)注：2900 次
Apogee200勻膠顯影機(jī)是在高精度Apogee勻膠機(jī)的基礎(chǔ)上，增加清洗、顯影、吹氣等功能，同時(shí)保持對(duì)深入過(guò)程數(shù)據(jù)和配方創(chuàng)建方法的訪問(wèn)。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
l 緊湊的設(shè)計(jì)，最大限度地減少占地面積
l 全彩色7英寸觸摸屏顯示屏
l 高密度聚乙烯（HDPE）旋轉(zhuǎn)碗，實(shí)現(xiàn)最大的化學(xué)兼容性
l 耐用的工作臺(tái)設(shè)計(jì)，也可采用法蘭/甲板安裝配置
l DataStream™ 技術(shù)
l 90°直角連續(xù)噴嘴或45°側(cè)角噴嘴
l 擴(kuò)展開(kāi)發(fā)能力
內(nèi)腔設(shè)計(jì)：
l 高密度聚乙烯（HDPE）旋轉(zhuǎn)碗
l 可選氮?dú)獯祾�，以�?shí)現(xiàn)更高效的干燥
l 集成排放口和排氣口
技術(shù)參數(shù)：
l 觸摸屏界面和顯示器
l 支持全彩色字母數(shù)字的圖形用戶(hù)界面（GUI）
l 用戶(hù)定義的配方程序步驟數(shù)量幾乎不限
l 步進(jìn)時(shí)間的分辨率為0.1秒（最大步進(jìn)時(shí)間為9999.9秒）
l 旋轉(zhuǎn)速度：12000 rpm
l 旋轉(zhuǎn)速度加速：
n 0至30000 rpm/s卸載
n 0至23000 rpm/s，200 mm基板
n 0至3000 rpm/s，6英寸×6英寸×0.250英寸光罩凹形卡盤(pán)
l 連接：USB/以太網(wǎng)端口，用于通過(guò)數(shù)據(jù)流上傳/下載過(guò)程參數(shù)™ 技術(shù)
l 同步、自動(dòng)化、多配送能力
設(shè)備精度：
l 轉(zhuǎn)速重復(fù)性：<0.2 rpm
l 轉(zhuǎn)速分辨率：<0.2 rpm
l 基底尺寸：圓形小于1厘米至200毫米；7英寸x 7英寸正方形
可靠性
l 間接驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)保護(hù)旋轉(zhuǎn)電機(jī)不接觸工藝化學(xué)品和溶劑
l 真空和蓋聯(lián)鎖
l 業(yè)界領(lǐng)先的可靠性和正常運(yùn)行時(shí)間
l 零件和人工的1年全面保修
l 在產(chǎn)品生命周期內(nèi)免費(fèi)提供遠(yuǎn)程技術(shù)支持（電話(huà)、電子郵件、傳真）
l 產(chǎn)品生命周期的應(yīng)用過(guò)程協(xié)助
了解更多產(chǎn)品資料，請(qǐng)聯(lián)系Helicoater 工作人員,400 860 1856。
接口：
l 電壓范圍：100-125、208-240 VAC、50/60 Hz
l 功率要求：655瓦
l 排水口：外徑¾”
l 排氣口：外徑1英寸
l 真空度：20“Hg
l 排氣：0.2“水下20至50 cfm
l 氮?dú)饣?/span>CDA（用于自動(dòng)分配）：70 psi
尺寸：
l 13.25英寸（33.65厘米）寬×21英寸（48.26厘米）深×16英寸（30.48厘米）高
l 機(jī)器重量：40磅（18.14千克）
l 裝運(yùn)重量：130磅（45.36千克）
l 開(kāi)發(fā)人員選項(xiàng)
l 最大限度地減少材料使用
l 使用1加侖壓力罐作為顯影劑溶液
l 最多可使用四個(gè)噴嘴或四個(gè)流噴嘴
噴霧器
l 利用噴嘴噴灑顯影劑溶液或去離子水
l 有兩種選擇：
n 45°側(cè)角噴霧，安裝在晶圓周長(zhǎng)外部的噴嘴朝晶圓中心噴射
n 90°直角噴霧，噴嘴直接安裝在基材上，用于連續(xù)噴霧
l 水流分配（水坑）
l 通過(guò)將顯影劑和去離子水“流動(dòng)”到基底頂部，就像標(biāo)準(zhǔn)旋涂工藝一樣
l 去離子水沖洗
l 可選擇上部和后部去離子水沖洗
l 與壓力罐分配器或室內(nèi)去離子水供水系統(tǒng)一起使用
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產(chǎn)品詢(xún)價(jià)與定購(gòu)